实验室有很多真空操作设备，精度很高的光学镜片，表面所有的坑洼都会控制在一个非常小的范围之内, 甚至不允许有任何一粒灰尘的存在。 即便能够打磨出这样的镜片, 还需要强大的工业测量技术作为支撑。 这些都是我们国家现在所不具备的。 要实现上面的要求, 工程量是很大的，难度甚至不亚于两弹工程和登月工程。 他一过来, 老潘就有些兴奋的和大家介绍，“这是宋问声宋院士，我邀请他过来咱们这里参观指导，你们做自己的。” 大家好奇的眼神在宋问声身上转了一圈, 又回去做自己的事情了。 光刻机绝对不是一个小东西，dua光刻机的透镜系统镜片就有四十来块, 叠加组合在一起，都有人这么高，更不用说精度更加大的深紫外光刻机。 老潘带他把光学镜头小组都参观过了一遍，还把隔壁的给介绍了一下。 这一个大组是照明系统大组，里面分光学镜头, 工作台系统等等。 光是光学镜头里又分大大小小的镜片，比如物镜等等。 现在的镜片材料大部分都是用石英材料, 并且光源和镜片之间的联系紧密，光源长时间照射会影响光学材料的性能, 光学材料的性能又会制约工作波长的选择。 所以二者之间能选择的余地很小。 现在也很难提出什么新的光学材料, 这么紧的工期, 基本上没有什么时间要验证。 所以只能在原来的基础上加以改进。 宋问声想了很久, 也想不到自己在光学镜片上能够帮助什么, 只是看了一些数据，提出了一些建议，建议他们和光刻胶小组合作一下，会有奇效。 其实光源的工作波长，不只是受到光学材料的制约，还有光刻胶，宋问声研发的光刻胶路子很野，和其他的不一样。 可以在193nm的深紫外光下使用，也可以在13.5nm的极紫外光下使用。 而且这款光刻胶还有很多功能急待开发，它的自由性很大，就和碳的四条键一样，可以有无穷的变换。 宋问声在光学镜片这里用不上劲，但是他观察之后发现，他在光源上可以有所改进。 只要光源和光刻胶选择的余地多了，那么光学材料选择的余地是不是多了？ 整个下午，宋问声拿着一大沓厚厚的草稿和老潘比划。 老潘听着确实像那么一回事。 他们这些配合研发的，多多少少对需要配合的地方有些了解，看宋问声写出的公式和理论，老潘忽然间觉得，应该就是这样的！ 看着宋问声认真的模样，老潘还觉得有些对不起这小老弟，之前还想骗人家过来指点指点，现在看人家是真认真。m.ｚＺWＴＷx.coM